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XP-703D半導體特氣檢漏儀

描述：XP-703D半導體特氣檢漏儀 特點：

? Z適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

? 采用聲光報警。

規格：

型 號


XP-703D

檢測對象氣體


半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理


型半導體式

采樣方式


自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）


砷烷 磷烷 乙

  • 產品型號：
  • 廠商性質：生產廠家
  • 更新時間：2026-01-23
  • 訪問量：1953
產品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

 

 

XP-703D半導體特氣檢漏儀 特點： 

¬  于檢測半導體特氣的微量泄漏。 

¬ 采用聲光報警。 

XP-703D半導體特氣檢漏儀 規格： 

 

型 號 

XP-703D 

檢測對象氣體 

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 

檢測原理 

型半導體式 

采樣方式 

自動吸引式 

可檢測濃度 

（單位：ppm） 

砷烷 磷烷  乙硼烷 硅烷 氫氣 

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 

檢測表示 

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 

應答速度 

10秒以內 

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